経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成26年 年報
表 - 平成26年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品統計表（時系列）【はん用・生産用・業務用機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003128145
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201401-201412
データ件数: 897件
公開日: 2015-08-29
最終更新日: 2025-04-14
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目B（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 221 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 210 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年度 | 224 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 55 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 42 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年1月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年2月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年3月 | 26 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年4月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年5月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年6月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年7月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年8月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年9月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年10月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年11月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年12月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 2492 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 2453 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 | 2890 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 2178 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年度 | 2842 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 978 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 648 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 591 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 673 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 333 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 306 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 339 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 246 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 197 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 191 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 175 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 225 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 152 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 222 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 299 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 840 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 | 1177 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 691 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年度 | 1049 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 368 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 271 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 227 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 311 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年1月 | 136 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年2月 | 118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年3月 | 114 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年4月 | 101 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年5月 | 78 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年6月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年7月 | 83 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年8月 | 62 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年9月 | 82 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年10月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年11月 | 104 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年12月 | 153 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 1279 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 1267 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 | 1250 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 1184 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年度 | 1412 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 264 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 247 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 265 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年1月 | 160 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年2月 | 141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年3月 | 173 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年4月 | 100 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年5月 | 86 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年6月 | 78 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年7月 | 77 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年8月 | 71 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年9月 | 99 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年10月 | 71 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年11月 | 85 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年12月 | 109 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 9301 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 8001 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 | 9223 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 8677 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年度 | 8393 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 2070 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2634 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 2537 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 1982 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年1月 | 558 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年2月 | 642 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年3月 | 870 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年4月 | 672 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年5月 | 856 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年6月 | 1106 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年7月 | 906 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年8月 | 756 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年9月 | 875 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年10月 | 707 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年11月 | 611 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年12月 | 664 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 10294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 9475 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 9285 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 10632 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 12116 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 9668 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 10911 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 2966 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2310 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 2985 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 3855 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 964 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 903 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 1099 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 682 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 775 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 853 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 1016 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 1017 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 952 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 1074 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 1241 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 1540 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 110 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 94 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年度 | 144 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 35 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 30 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年1月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年2月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年3月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年4月 | 7 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年5月 | 6 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年6月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年7月 | 4 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年8月 | 4 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年9月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年10月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年11月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年12月 | 7 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 506 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 609 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 | 652 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 477 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年度 | 640 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 152 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 142 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 187 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 171 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 62 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 56 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 61 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 42 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 72 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 51 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 64 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 72 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 53 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 332 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 | 209 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 304 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年度 | 262 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 70 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 40 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 40 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年1月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年2月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年3月 | 37 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年4月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年5月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年6月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年7月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年8月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年9月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年10月 | 6 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年11月 | 20 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年12月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 502 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 495 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 305 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 395 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 402 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 400 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 103 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 80 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 111 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 108 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 50 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 29 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 70 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 26 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 41 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 670 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 | 740 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 748 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年度 | 717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 159 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 184 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 214 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 183 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年1月 | 50 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年2月 | 27 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年3月 | 82 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年4月 | 32 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年5月 | 80 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年6月 | 72 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年7月 | 55 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年8月 | 108 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年9月 | 52 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年10月 | 53 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年11月 | 86 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年12月 | 44 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 15306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 14530 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 | 16420 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 13473 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年度 | 16219 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 5400 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 3622 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 3502 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 3895 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 1753 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 1604 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 2044 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 1331 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 1204 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 1087 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 1118 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 1059 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 1324 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 966 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 1243 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 1685 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 2495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 2422 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 | 3542 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 2022 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年度 | 2949 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 1043 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 786 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 686 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 1026 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年1月 | 365 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年2月 | 335 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年3月 | 343 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年4月 | 283 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年5月 | 219 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年6月 | 284 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年7月 | 262 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年8月 | 193 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年9月 | 231 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年10月 | 176 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年11月 | 306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年12月 | 544 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 10071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 9857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 | 9615 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 9246 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年度 | 10571 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 3382 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2022 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 1986 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 2225 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年1月 | 1127 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年2月 | 966 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年3月 | 1289 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年4月 | 725 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年5月 | 683 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年6月 | 615 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年7月 | 635 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年8月 | 586 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年9月 | 765 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年10月 | 623 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年11月 | 722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年12月 | 880 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 7046 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 4704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 | 7306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 6232 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年度 | 5534 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 1636 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2239 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 2161 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 1270 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年1月 | 359 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年2月 | 499 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年3月 | 778 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年4月 | 446 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年5月 | 799 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年6月 | 993 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年7月 | 838 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年8月 | 624 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年9月 | 700 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年10月 | 511 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年11月 | 335 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年12月 | 424 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 10663 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 8722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 6770 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 8322 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 9696 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 6712 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 9017 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 2484 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2082 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 2254 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 2876 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 827 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 763 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 895 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 629 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 667 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 786 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 774 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 712 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 768 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 846 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 895 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 1136 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 904 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 1382 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 | 851 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 526 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年度 | 1464 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 276 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 212 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 144 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 219 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年1月 | 59 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年2月 | 79 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年3月 | 137 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年4月 | 54 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年5月 | 97 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年6月 | 61 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年7月 | 45 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年8月 | 22 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年9月 | 77 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年10月 | 77 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年11月 | 91 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年12月 | 50 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 8370 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 12399 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 | 12809 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 7494 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年度 | 13995 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 4342 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 2401 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 3020 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 3047 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 1272 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 1136 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 1935 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 568 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 680 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 1152 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 985 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 1124 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 911 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 795 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 1208 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 1044 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 2301 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 3134 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 | 2481 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 2525 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年度 | 3513 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 1175 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 464 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 383 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 459 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年1月 | 238 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年2月 | 343 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年3月 | 594 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年4月 | 153 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年5月 | 171 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年6月 | 140 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年7月 | 164 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年8月 | 147 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年9月 | 71 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年10月 | 56 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年11月 | 147 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年12月 | 256 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 7536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 5318 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 1619 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 2608 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 2565 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 1576 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 2707 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 870 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 362 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 430 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 903 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 233 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 224 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 412 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 164 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 160 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 39 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 81 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 67 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 283 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 213 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 389 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 300 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成22年 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成23年 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成24年 | 1017232 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 | 1018606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年 | 1139852 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成24年度 | 911793 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年度 | 1137993 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 359667 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 255541 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 246186 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 278458 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年1月 | 108241 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年2月 | 110589 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年3月 | 140837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年4月 | 85333 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年5月 | 83135 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年6月 | 87073 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年7月 | 78217 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年8月 | 77146 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年9月 | 90823 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年10月 | 81393 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年11月 | 91365 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成26年12月 | 105700 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成22年 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成23年 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成24年 | 819684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 | 790064 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年 | 934156 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成24年度 | 738085 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年度 | 893138 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 289178 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 215123 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 209566 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 220289 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年1月 | 89883 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年2月 | 90540 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年3月 | 108755 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年4月 | 72379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年5月 | 69775 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年6月 | 72969 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年7月 | 69320 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年8月 | 66384 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年9月 | 73862 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年10月 | 65193 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年11月 | 67708 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成26年12月 | 87388 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 13882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 16886 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 | 13162 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 12881 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年度 | 17310 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 3497 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 3596 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 3571 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 2498 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年1月 | 1241 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年2月 | 698 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年3月 | 1558 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年4月 | 725 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年5月 | 1442 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年6月 | 1429 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年7月 | 1051 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年8月 | 1312 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年9月 | 1208 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年10月 | 908 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年11月 | 685 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成26年12月 | 905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 588925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 586837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 | 669325 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 525229 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年度 | 661828 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 218584 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 143087 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 143490 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 164164 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 75963 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 68573 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 74048 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 55991 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 46117 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 40979 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 43541 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 46942 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 53007 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 48493 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 53979 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 61692 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年度 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年1月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年2月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年3月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年4月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年5月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年6月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年7月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年8月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年9月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年10月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年11月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成26年12月 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 99722 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 101552 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 | 139057 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 82555 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年度 | 121109 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 41236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 32608 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 29130 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 36083 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年1月 | 14489 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年2月 | 13870 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年3月 | 12877 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年4月 | 11910 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年5月 | 9081 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年6月 | 11617 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年7月 | 10202 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年8月 | 8467 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年9月 | 10461 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年10月 | 7146 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年11月 | 11112 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成26年12月 | 17825 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 303512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 307242 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 | 314991 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 279523 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年度 | 336450 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 107253 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 66637 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 67258 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 73843 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年1月 | 36163 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年2月 | 31587 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年3月 | 39503 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年4月 | 24114 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年5月 | 22880 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年6月 | 19643 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年7月 | 20670 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年8月 | 19211 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年9月 | 27377 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年10月 | 22230 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年11月 | 23386 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成26年12月 | 28227 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 85290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 62123 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 | 90505 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 75476 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年度 | 71384 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 20416 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 26733 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 26920 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 16436 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年1月 | 4399 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年2月 | 6047 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年3月 | 9970 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年4月 | 6070 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年5月 | 9115 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年6月 | 11548 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年7月 | 10157 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年8月 | 8076 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年9月 | 8687 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年10月 | 6355 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年11月 | 4000 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成26年12月 | 6081 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 131587 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 124218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 161164 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 124499 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 142616 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 46681 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 41707 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 35585 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 37191 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 8280 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 15222 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 23179 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 9593 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 13101 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 19013 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 14571 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 10054 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 10960 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 9437 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 9044 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 18710 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成22年 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成23年 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成24年 | 197548 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 | 228542 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年 | 205696 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成24年度 | 173708 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年度 | 244855 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 70489 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 40418 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 36620 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 58169 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年1月 | 18358 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年2月 | 20049 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年3月 | 32082 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年4月 | 12954 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年5月 | 13360 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年6月 | 14104 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年7月 | 8897 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年8月 | 10762 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年9月 | 16961 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年10月 | 16200 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年11月 | 23657 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成26年12月 | 18312 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 72190 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 88853 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 | 72045 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 60500 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年度 | 90613 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 24037 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 16348 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 9510 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 22150 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年1月 | 5185 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年2月 | 7810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年3月 | 11042 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年4月 | 6120 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年5月 | 4902 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年6月 | 5326 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年7月 | 1481 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年8月 | 1460 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年9月 | 6569 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年10月 | 7450 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年11月 | 10300 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成26年12月 | 4400 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 85184 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 95169 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 | 89401 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 75052 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年度 | 107365 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 30481 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 15004 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 18086 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 25830 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年1月 | 9075 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年2月 | 8593 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年3月 | 12813 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年4月 | 4800 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年5月 | 4099 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年6月 | 6105 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年7月 | 5214 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年8月 | 7001 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年9月 | 5871 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年10月 | 7161 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年11月 | 10237 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成26年12月 | 8432 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 15843 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 19794 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 | 17122 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 17200 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年度 | 21818 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 1 ～ 3 月 | 7284 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 4 ～ 6 月 | 3627 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 7 ～ 9 月 | 3109 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年 10 ～ 12 月 | 3102 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年1月 | 1187 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年2月 | 1826 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年3月 | 4271 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年4月 | 1216 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年5月 | 1367 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年6月 | 1044 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年7月 | 1284 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年8月 | 1326 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年9月 | 499 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年10月 | 376 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年11月 | 974 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成26年12月 | 1752 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 24331 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 24726 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 | 27128 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 20956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年度 | 25059 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 1 ～ 3 月 | 8687 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 4 ～ 6 月 | 5439 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 7 ～ 9 月 | 5915 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年 10 ～ 12 月 | 7087 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年1月 | 2911 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年2月 | 1820 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年3月 | 3956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年4月 | 818 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年5月 | 2992 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年6月 | 1629 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年7月 | 918 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年8月 | 975 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年9月 | 4022 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年10月 | 1213 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年11月 | 2146 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成26年12月 | 3728 |