経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成26年 年報
表 - 平成26年 生産・出荷・在庫統計 １．製品年表【はん用・生産用・業務用機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003127758
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201401-201412
データ件数: 39件
公開日: 2015-08-29
最終更新日: 2025-04-14
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_年表 | 品目A（機械）_年表 | 値 |
|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 203 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 2890 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 1177 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 1250 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 9223 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 12116 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 652 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 209 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 402 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 740 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 16420 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 3542 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 9615 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 7306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 9696 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 851 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 12809 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 2481 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 2565 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 1139852 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 934156 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 13162 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 669325 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | X |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 139057 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 314991 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 90505 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 161164 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 205696 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 72045 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 89401 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 17122 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 27128 |