経済産業省生産動態統計調査
経済産業省生産動態統計 年報 機械統計編 平成25年 年報
表 - 平成25年 生産・出荷・在庫統計 ２．製品統計表（時系列）【一般機械】 （57）半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置
統計表ID: 0003115904
政府統計名: 経済産業省生産動態統計調査
作成機関名: 経済産業省
調査年月: 201301-201312
データ件数: 897件
公開日: 2015-03-31
最終更新日: 2025-04-14
※データ件数が2000件を超える場合は、先頭から2000件までを表示しています。
| 統計項目A(機械)_統計表 | 品目B（機械）_統計表 | 年月（期付） | 値 |
|---|---|---|---|
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成21年 | 225 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 474 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 549 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 239 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 221 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年度 | 449 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 210 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 49 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 55 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 72 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 45 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年1月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年2月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年3月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年4月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年5月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年6月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年7月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年8月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年9月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年10月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年11月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年12月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成21年 | 1253 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 3004 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 3141 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 2492 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 2453 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年度 | 3183 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 2178 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 589 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 522 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 555 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 787 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 146 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 161 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 282 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 150 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 185 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 187 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 197 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 186 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 172 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 189 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 274 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 324 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成21年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成21年 | 458 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 1338 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 1230 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 840 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 869 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年度 | 1245 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 691 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 188 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 148 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 227 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 306 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年1月 | 47 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年2月 | 50 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年3月 | 91 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年4月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年5月 | 52 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年6月 | 57 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年7月 | 86 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年8月 | 77 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年9月 | 64 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年10月 | 82 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年11月 | 101 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年12月 | 123 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成21年 | 526 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 1205 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 1409 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 1279 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 1267 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年度 | 1432 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 1184 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 329 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 305 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 255 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 378 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年1月 | 82 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年2月 | 87 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年3月 | 160 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年4月 | 92 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年5月 | 112 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年6月 | 101 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年7月 | 91 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年8月 | 79 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年9月 | 85 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年10月 | 88 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年11月 | 135 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年12月 | 155 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成21年 | 5089 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 13081 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 10488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 9301 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 8001 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年度 | 10118 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 8677 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 1678 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 2197 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 2250 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 1876 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年1月 | 488 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年2月 | 540 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年3月 | 650 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年4月 | 563 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年5月 | 792 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年6月 | 842 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年7月 | 863 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年8月 | 700 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年9月 | 687 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年10月 | 576 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年11月 | 605 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年12月 | 695 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 3649 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 10294 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 9475 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 9285 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 10632 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 9059 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 9668 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 2687 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 2669 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 2506 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 2770 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 679 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 855 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 1153 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 984 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 786 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 899 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 860 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 839 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 807 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 725 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 951 |
| 生産 数量 (台) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 1094 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成21年 | 176 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 123 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 203 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 110 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 143 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年度 | 204 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 94 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 32 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年1月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年2月 | 11 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年3月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年4月 | 9 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年5月 | 8 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年6月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年7月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年8月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年9月 | 14 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年10月 | 10 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年11月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年12月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成21年 | 675 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 633 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 659 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 506 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 609 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年度 | 654 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 477 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 121 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 188 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 195 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 105 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 36 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 51 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 58 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 71 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 59 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 73 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 63 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 30 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 48 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成21年 | 234 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 364 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 476 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 332 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年度 | 454 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 304 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 64 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 84 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 54 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年1月 | 21 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年2月 | 16 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年3月 | 27 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年4月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年5月 | 15 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年6月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年7月 | 41 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年8月 | 31 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年9月 | 12 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年10月 | 17 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年11月 | 19 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年12月 | 18 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 460 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 502 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 495 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 305 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 395 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 499 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 256 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 98 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 83 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 119 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 95 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 25 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 28 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 45 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 13 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 22 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 48 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 46 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 34 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 39 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 24 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 31 |
| 生産 数量 (台) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 40 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成21年 | 1245 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 3083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 3360 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 953 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 670 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年度 | 2585 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 748 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 113 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 200 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 231 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 127 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年1月 | 6 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年2月 | 19 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年3月 | 88 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年4月 | 72 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年5月 | 48 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年6月 | 81 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年7月 | 94 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年8月 | 68 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年9月 | 68 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年10月 | 36 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年11月 | 52 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年12月 | 38 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成21年 | 6507 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 15258 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 17124 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 15306 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 14530 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年度 | 18148 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 13473 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 3712 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 3085 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 3298 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 4436 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 907 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 1030 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 1774 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 884 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 1056 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 1144 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 1152 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 1034 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 1111 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 1029 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 1608 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 1798 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成21年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成21年 | 1418 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 4083 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 3717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 2495 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 2422 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年度 | 3755 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 2022 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 516 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 408 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 642 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 856 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年1月 | 129 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年2月 | 132 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年3月 | 254 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年4月 | 100 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年5月 | 141 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年6月 | 168 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年7月 | 240 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年8月 | 219 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年9月 | 184 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年10月 | 236 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年11月 | 279 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年12月 | 341 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成21年 | 3876 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 9512 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 10378 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 10071 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 9857 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年度 | 10841 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 9246 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 2669 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 2197 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 2140 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 2851 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年1月 | 638 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年2月 | 717 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年3月 | 1314 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年4月 | 658 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年5月 | 758 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年6月 | 781 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年7月 | 764 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年8月 | 616 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年9月 | 760 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年10月 | 671 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年11月 | 1047 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年12月 | 1132 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成21年 | 3634 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 10600 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 7839 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 7046 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 4704 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年度 | 7478 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 6232 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 807 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 1408 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 1489 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 1000 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年1月 | 159 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年2月 | 194 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年3月 | 454 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年4月 | 324 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年5月 | 486 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年6月 | 598 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年7月 | 631 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年8月 | 447 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年9月 | 412 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年10月 | 232 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年11月 | 332 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年12月 | 436 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 3860 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 10663 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 8722 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 6770 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 8322 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 7629 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 6712 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 1789 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 2133 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 2144 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 2256 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 447 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 526 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 817 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 662 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 715 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 756 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 749 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 643 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 751 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 620 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 747 |
| 生産 重量 (t) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 889 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成21年 | 1271 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 968 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 1654 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 904 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 1382 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年度 | 1895 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 526 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 194 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 316 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 430 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 443 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年1月 | 56 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年2月 | 67 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年3月 | 71 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年4月 | 75 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年5月 | 71 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年6月 | 170 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年7月 | 161 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年8月 | 159 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年9月 | 110 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年10月 | 69 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年11月 | 121 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年12月 | 254 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成21年 | 12414 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 13292 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 19606 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 8370 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 12399 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年度 | 19902 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 7494 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 2746 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 3007 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 3046 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 3599 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 976 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 641 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 1129 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 793 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 1192 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 1022 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 1034 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 966 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 1046 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 649 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 1603 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 1347 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成21年 | 4385 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 4740 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 4458 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 2301 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 3134 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年度 | 4173 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 2525 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 795 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 824 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 895 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 620 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年1月 | 205 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年2月 | 184 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年3月 | 406 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年4月 | 79 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年5月 | 255 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年6月 | 490 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年7月 | 631 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年8月 | 184 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年9月 | 80 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年10月 | 174 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年11月 | 287 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年12月 | 158 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 6343 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 7536 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 5318 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 1619 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 2608 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 3519 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 1576 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 771 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 708 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 656 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 472 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 183 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 272 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 315 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 136 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 122 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 449 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 350 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 141 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 165 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 155 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 165 |
| 生産 重量 (t) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 152 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成21年 | 761482 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成22年 | 1327236 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成23年 | 1334155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成24年 | 1017232 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 | 1018606 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成23年度 | 1321490 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成24年度 | 911793 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 240280 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 247037 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 242823 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 288466 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年1月 | 60003 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年2月 | 69731 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年3月 | 110546 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年4月 | 73769 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年5月 | 80928 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年6月 | 92340 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年7月 | 81753 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年8月 | 79066 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年9月 | 82004 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年10月 | 73546 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年11月 | 97270 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置及びフラットパ ネル・ディスプレイ製造装置 | 平成25年12月 | 117650 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成21年 | 437676 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成22年 | 970403 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成23年 | 984632 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成24年 | 819684 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 | 790064 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成23年度 | 972260 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成24年度 | 738085 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 186104 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 193217 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 181755 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 228988 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年1月 | 43863 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年2月 | 54196 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年3月 | 88045 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年4月 | 59537 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年5月 | 61634 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年6月 | 72046 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年7月 | 62107 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年8月 | 56863 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年9月 | 62785 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年10月 | 59335 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年11月 | 77140 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 | 平成25年12月 | 92513 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成21年 | 11874 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成22年 | 27604 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年 | 31457 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年 | 13882 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 | 16886 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成23年度 | 25069 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成24年度 | 12881 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 3073 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 6205 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 4427 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 3181 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年1月 | 552 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年2月 | 1112 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年3月 | 1409 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年4月 | 1212 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年5月 | 3280 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年6月 | 1713 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年7月 | 1843 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年8月 | 1429 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年9月 | 1155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年10月 | 978 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年11月 | 1018 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハ製造用装置 | 平成25年12月 | 1185 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成21年 | 298367 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成22年 | 626905 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年 | 694263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年 | 588925 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 | 586837 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成23年度 | 720435 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成24年度 | 525229 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 143593 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 132645 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 126597 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 184002 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 34686 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 43112 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 65795 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 42698 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 39361 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 50586 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 40014 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 42195 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 44388 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 48410 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 61345 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 74247 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 露光・描画用装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成21年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成22年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成23年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成24年度 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年1月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年2月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年3月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年4月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年5月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年6月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年7月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年8月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年9月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年10月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年11月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 エッチング装置 | 平成25年12月 | × |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成21年 | 58060 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成22年 | 157382 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年 | 142266 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年 | 99722 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 | 101552 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成23年度 | 143540 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成24年度 | 82555 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 21679 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 18765 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 26750 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 34358 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年1月 | 5545 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年2月 | 5741 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年3月 | 10393 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年4月 | 5370 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年5月 | 6251 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年6月 | 7144 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年7月 | 10055 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年8月 | 8643 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年9月 | 8052 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年10月 | 9101 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年11月 | 11565 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 薄膜形成装置 | 平成25年12月 | 13692 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成21年 | 101683 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成22年 | 247614 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年 | 310220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年 | 303512 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 | 307242 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成23年度 | 332324 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成24年度 | 279523 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 78045 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 73220 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 65967 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 90010 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年1月 | 20562 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年2月 | 20805 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年3月 | 36678 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年4月 | 22581 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年5月 | 25055 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年6月 | 25584 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年7月 | 23110 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年8月 | 21581 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年9月 | 21276 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年10月 | 20570 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年11月 | 31263 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 ウエハプロセス用処理装置 その他の装置 | 平成25年12月 | 38177 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成21年 | 40949 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成22年 | 118515 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年 | 92102 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年 | 85290 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 | 62123 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成23年度 | 90031 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成24年度 | 75476 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 11155 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 18884 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 18919 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 13165 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年1月 | 2944 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年2月 | 3308 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年3月 | 4903 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年4月 | 4624 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年5月 | 6537 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年6月 | 7723 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年7月 | 7748 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年8月 | 5706 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年9月 | 5465 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年10月 | 3176 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年11月 | 4537 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 組立用装置 | 平成25年12月 | 5452 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 86486 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 197379 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 166810 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 131587 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 124218 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 136725 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 124499 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 28283 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 35483 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 31812 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 28640 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 5681 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 6664 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 15938 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 11003 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 12456 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 12024 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 12502 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 7533 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 11777 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 6771 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 10240 |
| 生産 金額 (百万円) | 半導体製造装置 半導体製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 11629 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成21年 | 323806 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成22年 | 356833 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成23年 | 349523 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成24年 | 197548 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 | 228542 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成23年度 | 349230 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成24年度 | 173708 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 54176 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 53820 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 61068 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 59478 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年1月 | 16140 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年2月 | 15535 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年3月 | 22501 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年4月 | 14232 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年5月 | 19294 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年6月 | 20294 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年7月 | 19646 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年8月 | 22203 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年9月 | 19219 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年10月 | 14211 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年11月 | 20130 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 | 平成25年12月 | 25137 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成21年 | 89506 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成22年 | 97599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年 | 133210 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年 | 72190 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 | 88853 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成23年度 | 141241 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成24年度 | 60500 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 22277 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 18699 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 28124 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 19753 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年1月 | 6767 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年2月 | 6985 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年3月 | 8525 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年4月 | 6283 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年5月 | 5972 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年6月 | 6444 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年7月 | 8090 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年8月 | 10471 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年9月 | 9563 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年10月 | 5083 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年11月 | 4850 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板製造用装置 | 平成25年12月 | 9820 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成21年 | 144665 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成22年 | 170430 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年 | 146145 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年 | 85184 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 | 95169 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成23年度 | 144941 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成24年度 | 75052 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 18285 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 26256 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 21690 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 28938 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年1月 | 6146 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年2月 | 5352 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年3月 | 6787 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年4月 | 6477 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年5月 | 10667 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年6月 | 9112 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年7月 | 6485 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年8月 | 8871 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年9月 | 6334 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年10月 | 6014 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年11月 | 11486 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 ガラス基板プロセス用処理装置 | 平成25年12月 | 11438 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成21年 | 32810 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成22年 | 38666 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年 | 28551 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年 | 15843 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 | 19794 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成23年度 | 25599 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成24年度 | 17200 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 1 ～ 3 月 | 5260 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 4 ～ 6 月 | 4867 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 7 ～ 9 月 | 5217 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年 10 ～ 12 月 | 4450 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年1月 | 1860 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年2月 | 1214 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年3月 | 2186 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年4月 | 573 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年5月 | 1712 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年6月 | 2582 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年7月 | 3123 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年8月 | 1425 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年9月 | 669 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年10月 | 1061 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年11月 | 2040 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 パネル工程用装置 | 平成25年12月 | 1349 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成21年 | 56825 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成22年 | 50138 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年 | 41617 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年 | 24331 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 | 24726 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成23年度 | 37449 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成24年度 | 20956 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 1 ～ 3 月 | 8354 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 4 ～ 6 月 | 3998 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 7 ～ 9 月 | 6037 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年 10 ～ 12 月 | 6337 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年1月 | 1367 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年2月 | 1984 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年3月 | 5003 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年4月 | 899 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年5月 | 943 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年6月 | 2156 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年7月 | 1948 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年8月 | 1436 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年9月 | 2653 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年10月 | 2053 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年11月 | 1754 |
| 生産 金額 (百万円) | フラットパネル･ディスプレイ製造装置 フラットパネル･ディスプレイ製造装置用関連装置（マスク･レチクル製造用装置を含む） | 平成25年12月 | 2530 |